世界先進加入台積電MEMS代工軍團 年底小量投產 力抗聯電MEMS大軍

吳宗翰／台北 2008/9/12

MEMS市場近來愈燒愈旺，繼聯電MEMS大軍已正式組成後，台積電MEMS軍團成員最近再添1名新兵，據了解，原本便已是台積電在CMOS標準製程晶圓代工市場中相當重要的合作夥伴-世界先進，如今也將與台積電一同攜手，開拓MEMS晶圓代工市場。

近幾個月以來全球MEMS市場熱浪，由國外逐步延燒至台灣市場，MEMS晶圓代工廠商近來接單愈來愈暢旺，多家CMOS標準製程代工的晶圓代工廠也陸續跨入此市場，台灣兩大晶圓代工廠台積電與聯電，對於MEMS晶圓代工市場更是虎視眈眈，認為MEMS晶圓代工對於未來公司營運將有相當助益。

MEMS代工熱潮帶動晶圓雙雄的MEMS大軍陸續成形，據了解，聯家軍除了聯電本身，更有其重要轉投資夥伴亞太優勢，及聯電集團欣興所轉投資的MEMS的IC設計公司聯興微系統科技投入MEMS領域。台積電也不甘示弱，除了台積電本身第2條MEMS生產線將於2008年底正式架構完成外，重要關係夥伴世界先進也傳出跨入MEMS產品前段的晶圓代工部分。

據了解，世界先進已在FAB1廠中開始替MEMS設計公司試投，預計在2008年底左右將會正式導入小量生產，目前該顆產品為G-SENSOR產品，第1階段將會採用世界先進的0.35微米製程技術投片。

除此之外，台積電MEMS大軍成員還包含了益芯科技，據了解，該公司為益華電子所轉投資的IC設計服務公司，此次也是益芯科技第一次投入MEMS產品的IC設計服務，市場人士預料未來伴隨著MEMS技術逐步進入消費性電子產品後，IC設計服務公司接獲MEMS設計公司的訂單也將隨之水漲船高。

目前對於台灣晶圓代工廠來說，進入MEMS晶圓代工的營運模式可區分為2大項，一則是由晶圓代工廠自己從接單起，到最後產出CMOS晶片，及MEMS晶圓加總在一起的晶圓，另一項營運模式，則是晶圓代工廠還是製造單純的CMOS晶圓後，再轉交給MEMS晶圓代工廠替其完成MEMS製程部分。